Лаборатории контроля качества (ЛКК) компании "АСТОР" обеспечивает аналитический контроль качества продукции в соответствии с требованиями по содержанию примесных соединений, предъявляемыми к высокочистым газам для электронной промышленности ("электронным газам"), а также к газам - хладагентам.
Осуществляемый контроль качества является многоуровневым и проводится на всех стадиях переработки: от приемки исходного сырья, до выходного контроля качества конечной продукции. Имеющееся оборудование и используемые методы и методики анализа могут с успехом применяться и в других областях техники: от контроля состояния окружающей среды, до исследования новых материалов для микроэлектроники.
Аналитическое оборудование, используемое в ЛКК.
Элементный анализ:
IRIS Advantage (США) - атомно-эмиссионный спектрометр с аргоновой индуктивно-связанной плазмой (ICP). Предназначен для количественного определения микро количеств химических элементов в газах, жидкостях и твердых телах. Точность метода обеспечивается возможностью определения по нескольким линиям в спектре для каждого элемента.
Газовый хроматограф HP6890 Plus с масс-селективным детектором HP5973N c обширной библиотекой масс-спектров для масс-селективного детектора (NIST98 MS Library Bundle). Данный прибор позволяет получить масс-спектр как основного вещества, так и любой его микро примеси вплоть до концентрации в 1ррм, а по масс-спектру производится идентификация вещества с вероятностью совпадения до 99%.
Хроматографическое определение примесей.
Газовый хроматограф UNICAM ProGC с высокочувствительным детектором по ионизации за счет пульсирующего электрического разряда в гелии (The pulsed discharge ionization detector (PDID)). Используется для определения микроколичеств компонентов воздуха, органических галогенпроизводных, углеводородов с нижним пределом определения до 0.05 ppmv.
Газовый хроматограф SHIMADZU 14BPTF с двумя, работающими одновременно, детекторами: пламенно-ионизационным детектором (FID) и детектором по теплопроводности (TCD). Используется для определения микроколичеств компонентов воздуха, органических галогенпроизводных, углеводородов с нижним пределом определения до единиц ppmv.
Определение влажности (определение малых концентраций воды)
и кислотности.
Хроматограф жидкостный (ионный) Waters HPLC.
Используется для определения микроколичеств анионов после контакта электронного газа с водой (контроль возможных процессов разложения, гидролиза электронных газов, наличия кислотообразующих примесей).
